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衍射微透镜列阵掩模制作软件的设计
衍射微透镜列阵掩模制作软件的设计
来源 :光电工程 | 被引量 : 0次 | 上传用户:owenm87
【摘 要】
:
研究了衍射微透镜列阵的设计方法及CIF格式掩模数据的数据结构与生成方法,设计了一套产用软件,采用图形切割、跟踪计算等方法,解决了生成子孔径为矩形、六 方形及圆环扇形的衍射微
【作 者】
:
白临波
邱传凯
【机 构】
:
中国科学院光电技术研究所微细加工光学技术国家重点实验室,中国科学院光电技术研究所微细加工光学技术国家重
【出 处】
:
光电工程
【发表日期】
:
2000年5期
【关键词】
:
衍射微透镜列阵
掩模数据文件
掩模
图形切割
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研究了衍射微透镜列阵的设计方法及CIF格式掩模数据的数据结构与生成方法,设计了一套产用软件,采用图形切割、跟踪计算等方法,解决了生成子孔径为矩形、六 方形及圆环扇形的衍射微透镜列阵掩模的问题,满足了实际系统对衍射微透镜列阵子孔径形状的各种需求。
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