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以多晶金刚石作为支架,单晶金刚石作为镶嵌体,通过微波等离子体化学气相沉积法在950℃和1.0%甲烷浓度下制备了结晶质量较好的单晶-多晶金刚石复合片。利用扫描电子显微镜(SEM)和显微拉曼光谱(Raman)和红外光谱(IR)等对复合片的界面进行了研究。结果表明:甲烷浓度低于1.0%时,界面拼接效果差、存在空隙,甲烷浓度大于1.0%时,单晶结晶质量和光透过率差,甲烷浓度对生长晶粒大小及表面粗糙度存在影响。同时在850℃、950℃、1050℃和1150℃四个不同温度制备了单晶-多晶金刚石复合片。通过SEM和Ra