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表面微观形貌测量中光探针大小对测量结果的影响
表面微观形貌测量中光探针大小对测量结果的影响
来源 :光电工程 | 被引量 : 0次 | 上传用户:kingknife2000
【摘 要】
:
以AFM测量的表面微观形貌为基础,采用数值仿真技术,定量地分析光探针直径对表面微观形貌测量的影响。结果表明:评定参数Ra,Rq,Ry,Rz,Rku以及平均轮廓斜率和最大轮廓斜率都随光探针直径的增加而减小
【作 者】
:
梁嵘
李达成
【机 构】
:
清华大学精密仪器系精密测试技术及仪器国家重点实验室
【出 处】
:
光电工程
【发表日期】
:
1999年2期
【关键词】
:
轮廓测量
光学探针
SPM
扫描探针显微镜
Profile measurement
Surface shape measurement
optical prob
【基金项目】
:
香港蒋氏工业慈善基金
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以AFM测量的表面微观形貌为基础,采用数值仿真技术,定量地分析光探针直径对表面微观形貌测量的影响。结果表明:评定参数Ra,Rq,Ry,Rz,Rku以及平均轮廓斜率和最大轮廓斜率都随光探针直径的增加而减小,Rsm随光探针直径的增大而增大,而Rsk不随光探针直径单调变化。
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