【摘 要】
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Nano-DST可以给用户的原子力显微镜（AFM）提供双扫描技术。大面积扫描采用三模型方式，可以在X和Y方向上获得100、200或400gm的扫描范围。采用弯曲设计和光杠杆探测方法可以实现低
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Nano-DST可以给用户的原子力显微镜（AFM）提供双扫描技术。大面积扫描采用三模型方式，可以在X和Y方向上获得100、200或400gm的扫描范围。采用弯曲设计和光杠杆探测方法可以实现低弯曲和耦合。SPM控制器使用两个X、Y、Z扫描控制卡，这些卡是由国家仪器公司生产，符合工业标准并具有24位的电子设备。
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