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本文讨论了仅根据实测的透射率光谱曲线求解Si薄膜近红外光学常数和薄膜厚度的方法,同时报道了直流磁控溅射Si膜在0.8—2.5μm波长范围内的实测结果。Si薄膜与块状单晶Si材料相比,在近红外折射率偏低,消光系数偏高,吸收系数偏大。本文还对其原因作了解释。
直流磁控溅射Si薄膜的近红外光学常数及测试研究
【摘 要】
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本文讨论了仅根据实测的透射率光谱曲线求解Si薄膜近红外光学常数和薄膜厚度的方法,同时报道了直流磁控溅射Si膜在0.8—2.5μm波长范围内的实测结果。Si薄膜与块状单晶Si材料
【机 构】
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浙江大学,浙江大学
【出 处】
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太阳能学报
【发表日期】
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1989年4期
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