【摘 要】
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Adhesion and residual stress play a critical role in the performance and reliability of MEMS. The influ-ence of residual stress on the adhesion-induced instabil
【出 处】
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Chinese Science Bulletin
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Adhesion and residual stress play a critical role in the performance and reliability of MEMS. The influ-ence of residual stress on the adhesion-induced instability in MEMS is examined within the framework of thin elastic plate theory. The results show that the adhesion-induced instability will be mitigated if the residual stress exists in certain component of MEMS. Moreover, we find that the influence is significant only when the residual stress is under a proper magnitude (β≤20).
Adhesion and residual stress play a critical role in the performance and reliability of MEMS. The influ-ence of residual stress on the adhesion-induced instability in MEMS is examined within the framework of thin elastic plate theory. The results show that the adhesion-induced instability will be mitigated if the residual stress exists in certain component of MEMS if the residual stress exists in certain component of MEMS (β ≦ 20).
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