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用Ｓｉ表面微机械加工技术制作了一种具有４００μｍ＊８００μｍ薄多晶硅谐振器的振动微型陀螺仪。它螺仪受静电力的作用进行横向驱动，并检测振器与衬底之间容变化的输出信号。
微型振动陀螺仪
【摘 要】
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用Ｓｉ表面微机械加工技术制作了一种具有４００μｍ＊８００μｍ薄多晶硅谐振器的振动微型陀螺仪。它螺仪受静电力的作用进行横向驱动，并检测振器与衬底之间容变化的输出信号。
【出 处】
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半导体情报
【发表日期】
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1997年4期
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