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本文叙述了大直径硅单晶生长、杂质缺陷行为、表面质量控制及硅基材料的研究现状,讨论了应变硅与绝缘体上硅(SOI)相结合的发展趋势,展望了纳米集成电路用大直径硅及硅基材料的技术经济前景.
纳米集成电路用大直径硅及硅基材料研究进展
【摘 要】
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本文叙述了大直径硅单晶生长、杂质缺陷行为、表面质量控制及硅基材料的研究现状,讨论了应变硅与绝缘体上硅(SOI)相结合的发展趋势,展望了纳米集成电路用大直径硅及硅基材料的技术经济前景.
【机 构】
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半导体材料国家工程研究中心,北京有色金属研究总院(北京)
【出 处】
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第五届中国功能材料及其应用学术会议
【发表日期】
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2004年10期
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