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利用Ｘ射线光电子谱、扫描俄歇微探针，Ｘ射线衍射和差热－热重等多种分析技术，对由溶胶凝胶法制备的Ｐｄ－ＳｎＯ２薄膜试样的结构作了综合表征，系统地研究了热处理过程中度样结构及试样中Ｐｄ和Ｓｎ元素化学状态的变化规律。
掺Pd二氧化锡薄膜结构表征
【摘 要】
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利用Ｘ射线光电子谱、扫描俄歇微探针，Ｘ射线衍射和差热－热重等多种分析技术，对由溶胶凝胶法制备的Ｐｄ－ＳｎＯ２薄膜试样的结构作了综合表征，系统地研究了热处理过程中度样结构及试样中Ｐｄ和Ｓｎ元素化学
【机 构】
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清华大学化学系
【出 处】
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真空科学与技术
【发表日期】
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1997年2期
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