多弧离子镀(Ti_XAl_Y)N系超硬薄膜中Al的作用

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本文考察了Al量对多弧离子镀(TiXAlY)N膜层的硬度、孔隙率、耐磨性、摩擦系数、结合力等因素的影响。并利用扫描电镜、电子探针、X射线衍射仪及俄歇电子谱仪对膜进行了分析,并对磨损机理作了初步探讨 In this paper, the effect of Al content on the hardness, porosity, wear resistance, friction coefficient, cohesion and other factors of multi-arc ion plating (TiXAlY) N film was investigated. The films were analyzed by scanning electron microscopy, electron probe, X-ray diffraction and Auger electron spectroscopy, and the wear mechanism was discussed
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