【摘 要】
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摘要：首先利用不同粒度的碳化硼研磨液对SiC晶片分别进行粗磨和细磨，然后利用金刚石微粉悬浮抛光液对晶片进行机械抛光，在此基础上进行最终的化学机械抛光。本文重点研究了化学
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摘要：首先利用不同粒度的碳化硼研磨液对SiC晶片分别进行粗磨和细磨，然后利用金刚石微粉悬浮抛光液对晶片进行机械抛光，在此基础上进行最终的化学机械抛光。本文重点研究了化学机械抛光时，不同载荷对晶片质量的影响，并利用TaylorSurfccl2000非接触式粗糙度检测仪来进行表征。实验结果表明：在主盘转速为60rpm，PH为11，抛光时间为120min，温度为20摄氏度的最优实验条件下，加载0．6kg／cm。的压力，初始粗糙度为17nm的晶片其粗糙度可减小至3．8nm；在一定范围内晶面的表面粗糙度随着载荷的增
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