【摘 要】
:
采用P型单晶硅片为衬底,并经混合酸溶液腐蚀抛光、清洗后,利用射频磁控溅射镀膜系统在其表面制备非晶硅薄膜;再结合快速光热退火工艺,于N2气氛下480℃退火30 min,得到晶化硅
【基金项目】
:
国家自然科学基金联合基金(U1037604);云南省基础研究重点项目(2017FA024)
论文部分内容阅读
采用P型单晶硅片为衬底,并经混合酸溶液腐蚀抛光、清洗后,利用射频磁控溅射镀膜系统在其表面制备非晶硅薄膜;再结合快速光热退火工艺,于N2气氛下480℃退火30 min,得到晶化硅薄膜;利用光学金相显微镜、XRD衍射仪和拉曼散射光谱(Raman)仪对单晶硅衬底和晶化硅薄膜进行结构和性能表征。研究了混合酸溶液对单晶硅表面腐蚀效果、籽晶诱导外延生长晶化硅薄膜的物相结构和薄膜带隙。结果表明:采用混合酸溶液腐蚀后得到表面平整、光滑的单晶硅衬底;非晶硅薄膜经过快速退火后受籽晶诱导生成晶化硅薄膜,其晶相沿单晶硅衬底取向择优生长;随着非晶硅薄膜厚度从80 nm增加到280 nm,晶化后硅薄膜的表面粗糙度逐渐减小,晶化率从90.0%逐渐降低到37.0%;晶粒尺寸从6.65 nm逐渐减小到1.71 nm;带隙从1.18 e V逐渐升高到1.52 e V。
其他文献
为了提高肺实质分割算法的运行效率,提出了一种基于择优对称粒子群优化的Otsu肺实质分割算法.首先在传统粒子群优化的Otsu算法基础上,引入自然选择机制,保留适应度较好的优秀
通过分析柳州茶文化的特点及茶文化在柳州茶产业发展中的作用,提出重视文化资源对茶产业发展的重要性,积极开发旅游资源等来促进柳州茶产业经济发展。
By analyzing the cha
中国是传统的农业大国,河南省是传统的农业大省,三农问题一直是许多学者、专业技术人员和农业行业从业人员研究的主要对象。而三农的核心问题是农民收入问题,所以本文把农民
本文利用Delphi作为开发工具,SQL Sever 2000作为后台数据管理库,实现水产养殖日志管理系统的基本功能设计。
为了寻找和筛选具有杀虫活性的、符合21世纪新农药发展要求的新烟碱杀虫先导化合物,本文对己商品化的烯啶虫胺进行结构修饰并合成了共计9个未见文献报道新化合物。以氰乙酸酯
综述了胸外科老年患者术后谵妄的临床现状,并就其发生的危险因素提出相应的护理措施,包括加强术前、术中护理,术后通过严密监测病情、氧疗、疼痛护理、早期运动护理、用药护
应用氨基酸自动分析仪及气相色谱一质谱仪对4例,临床疑为氨基酸和有机酸代谢异常的患儿进行血 清氨基酸分析及尿液有机酸分析。
Amino acid analyzer and gas chromatograph
从高校大学生就业现状及综合能力入手,针对信息化建设对创新型人才的需求,提出以"市场引路,环境先导,项目牵引,竞赛驱动,应用提升"五位一体指导思想培养信息类一专多能的"T"
DNA(脱氧核糖核酸)芯片技术90年代中后期发展起来的一种崭新技术,它是将生命科学和医学研究中所涉及的许多不连续分析过程(如样品制备、化学反应和分析检测等),通过采用微电
对平山县2006~2011年农民人均纯收入变化趋势进行了分析,结果表明:平山县2006~2011年农民人均纯收入逐年增长,且增长幅度也大体呈增加趋势,2011年、2009年和2010年的增幅明显