【摘 要】
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与传统的有基底FPA（焦平面阵列）相比,基于全镂空支撑框架结构的新型无基底FPA在热学特性上存在显著差异,传统的基于恒温基底假设的热学分析模型不再适用,因此,通过电学比拟方法
【机 构】
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中国科学技术大学中国科学院材料力学行为和设计重点实验室,中国科学院微电子研究所
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与传统的有基底FPA（焦平面阵列）相比,基于全镂空支撑框架结构的新型无基底FPA在热学特性上存在显著差异,传统的基于恒温基底假设的热学分析模型不再适用,因此,通过电学比拟方法,将无基底FPA的热响应特性等效为电学模型.通过该模型,进一步分析了无基底FPA在非真空环境下的热学性能,分析表明：该无基底FPA具有在大气压下优良的红外成像性能,其NETD（噪声等效温度差）值仅比真空环境下增加了数倍.
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