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微型机械电子系统的研究动态
微型机械电子系统的研究动态
来源 :煤矿机械 | 被引量 : 0次 | 上传用户:landy_st
【摘 要】
:
阐述微型机械电子系统的概念与内涵,详细地分析了微型机械电子系统的研究方向和发展趋势,为今后深入研究该领域的课题提供了依据 .
【作 者】
:
龚晓燕
【机 构】
:
西安科技学院
【出 处】
:
煤矿机械
【发表日期】
:
2001年11期
【关键词】
:
微型机械电子系统
微结构
微细加工
微米技术
纳米技术
尺寸效应
MEMS(Micro Electro Mechanical System)micro_nano
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阐述微型机械电子系统的概念与内涵,详细地分析了微型机械电子系统的研究方向和发展趋势,为今后深入研究该领域的课题提供了依据 .
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