微型机械电子系统相关论文
纳米测量技术已成为纳米技术的重要组成部分。微型智能仪器 ,是微型传感器、微型执行器和信息处理技术、微电子技术发展的必然产物......
通过动力学分析和有限元模拟，设计出了具有高过载保护功能的加速度传感器结构．采用微型机械电子系统技术和集成电路工艺制作出了高精......
采用微型机械电子系统技术制作出了具有高精度、高频响特点的耐高温硅隔离压阻力敏芯片.根据压阻力敏芯片的版图设计结构,基于弹性......
专家简历及科研方向牟笑静：博士，教授，博士生导师，国家“青年千人”计划、重庆市“百人计划”、重庆大学“百人计划”入选者。出生于孔......
阐述微型机械电子系统的概念与内涵,详细地分析了微型机械电子系统的研究方向和发展趋势,为今后深入研究该领域的课题提供了依据 .......
采用微型机械电子系统（MEMS）技术制作出了高精度、高灵敏度的硅隔离（SOI）倒杯式耐高温压阻力敏芯片,利用静电键合工艺将力敏芯片封装到......
在研究柔性铰链的基础上,介绍了平面柔性铰链微夹持机构的设计与制作,并对此进行了张合实验.利用解析法和实验,分别得出了平面柔性......
随着微型机械电子系统（MEMS）的发展，微能源逐渐成为MEMS应用中的一个非常关键的问题。在同时考虑了同位素的选择及其衰变类型、粒子能......
