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对多晶硅生产设备,例如塔器、换热器等,普遍存在因腐蚀开裂而造成设备早期失效的问题进行分析,探讨了如何解决开裂问题、延长多晶硅设备使用寿命的方法。
关于多晶硅生产设备腐蚀开裂问题的探讨
【摘 要】
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对多晶硅生产设备,例如塔器、换热器等,普遍存在因腐蚀开裂而造成设备早期失效的问题进行分析,探讨了如何解决开裂问题、延长多晶硅设备使用寿命的方法。
【机 构】
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四川瑞能硅材料有限公司
【出 处】
：
化工装备技术
【发表日期】
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2013年4期
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