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本文采用电子回旋共振微波等离子体化学气相沉积方法(ECR-CVD),以CH4和H2为气源、Fe3O4 纳米粒子为催化剂,未加电场,在多孔硅基底上制备出大面积取向生长碳纳米管.使用扫描电子显微镜(SEM)、透射电子显微镜(TEM)、X射线衍射(XRD)、X射线能量色散分析(EDX)对样品形貌和结构进行表征.结果显示:合成的碳纳米管为多壁碳管;碳纳米管直径60 nm~90 nm,长度约8 μm;碳纳米管展现出中空管状和链状两种结构;碳纳米管的生长采取催化剂底端生长模式.