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基因芯片是运用微电子加工技术以及基因分子的自组装技术在微小芯片上组装成千上万个不同的DNA微阵列，实现以基因为主的生命信息的大规模检测。本文利用氧化、光刻、蒸发、溅射等一系列集成电路刻蚀技术，研究了适于电化学检测的基因芯片微阵列的制备，并提出了这种芯片中微流路的制备工艺方案。
基因芯片中的微电子刻蚀技术
【摘 要】
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基因芯片是运用微电子加工技术以及基因分子的自组装技术在微小芯片上组装成千上万个不同的DNA微阵列，实现以基因为主的生命信息的大规模检测。本文利用氧化、光刻、蒸发、溅
【机 构】
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华中理工大学电子科学与技术系微电子所
【出 处】
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微电子技术
【发表日期】
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2000年6期
【基金项目】
：
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