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透明导电氧化物薄膜是铟锡氧化物(ITO),对可见光透明和良好的导电性,能够满足人们在信息时代特定的条件下和不同目的下的特殊要求。掺铝的氧化锌(Zn O)薄膜是迄今为止目前市场上ITO膜的最佳替代品,不仅具有与ITO膜可比拟的电学和光学性能,而且具有自然储备丰富、易于制造、成本低、无毒、热稳定性好等诸多优点。