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设计了一种利用介质阻挡放电产生等离子体对材料表面进行处理的新型表面处理装置．此装置采用交流高压驱动，在每个电压半周期内放电次数达到4次甚至更多次，能够产生大量的等离子体．此装置产生的等离子体距离待处理材料近，对等离子体具有较高的利用率，在工业应用方面具有较高的应用前景．
等离子体表面处理装置
【摘 要】
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设计了一种利用介质阻挡放电产生等离子体对材料表面进行处理的新型表面处理装置．此装置采用交流高压驱动，在每个电压半周期内放电次数达到4次甚至更多次，能够产生大量的等离子
【机 构】
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河北大学物理科学与技术学院
【出 处】
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河北大学学报：自然科学版
【发表日期】
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2016年4期
【基金项目】
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国家自然科学基金资助项目（11175054）,河北省科技厅重点项目（11967135D）,河北省教育厅重点项目（ZD2010140）,河北大学研究生创新资助项目
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