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介绍三氯氢硅尾气处理的工艺和设备。三氯氢硅尾气（流量为3 000 m3/h）处理后排放气体中ρ（HCl）〈0.1 mg/L。
三氯氢硅尾气处理工艺
【摘 要】
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介绍三氯氢硅尾气处理的工艺和设备。三氯氢硅尾气（流量为3 000 m3/h）处理后排放气体中ρ（HCl）〈0.1 mg/L。
【机 构】
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江西嘉柏新材料有限公司
【出 处】
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氯碱工业
【发表日期】
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2011年12期
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