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通过对比目前各种主流划片工艺的优缺点,分析了300 mm晶圆的材料结构特性和主要工艺挑战,提出了复合工艺解决方案;并详细分析了主要工艺路线的挑战,通过具体实验的分析,得到了复合工艺解决方案的结果以及新问题和解决思路.
300mm晶圆的复合划片工艺方案简析
【摘 要】
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通过对比目前各种主流划片工艺的优缺点,分析了300 mm晶圆的材料结构特性和主要工艺挑战,提出了复合工艺解决方案;并详细分析了主要工艺路线的挑战,通过具体实验的分析,得到
【机 构】
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中国电子科技集团公司第四十五研究所,甘肃林业职业技术学院
【出 处】
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电子工业专用设备
【发表日期】
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2015年7期
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