【摘 要】
：
微硅机械技术用于制造一种热加速度计,这种敏感器不需要任何固态的检测质量,且生产成本较低.一个加热的电阻器产生了对称的温度曲线,两个温度探测器置于电阻的两边;当受到加
【机 构】
：
北京自动化控制设备研究所,中国,北京,100074航天科工集团068基地7801研究所,湖南,长沙,410205;
论文部分内容阅读
微硅机械技术用于制造一种热加速度计,这种敏感器不需要任何固态的检测质量,且生产成本较低.一个加热的电阻器产生了对称的温度曲线,两个温度探测器置于电阻的两边;当受到加速度的时候,温度曲线变成了非对称,这两个探测器测量这种差分温度.用电子束蒸发的方法将铂(Pt)电阻沉积在SiNx薄膜上,用做加热器和温度敏感器.本文根据加热器-探测器的距离、电源功率和室温,给出了温度曲线的测量和灵敏度.结果表明:灵敏度正比于加热的功率,但当室温增加时,灵敏度则降低.同时,也给出了在倾斜仪和离心机中应用的实验结果.当施加一正弦加速度时,测量到20Hz的3dB带宽,并得到相等的加速度噪声为0.3mg(RMS).
其他文献
引子某日,记者上班路遇塞车,偶然向窗外浏览,发现在我的视线范围内有一家眼镜小店。招牌上打着:xx眼镜店。下面一排小字写着:专业补牙、镶牙,清洗牙齿。我有些不解,使劲揉了
随着交通运输部“三个服务”理念不断的深入推进,海南海区公用航标的服务对象发生了改变,我处针对这些改变开展了一系列海南沿海航标的配布调整工作。本文总结了海南海区灯桩
分析了在目前条件下影响网络安全传输的多种因素 ,提出了加强网络安全传输的人防、物防、技防措施 ,并对其实现方法做了详细阐述
Analyzes the various factors that affect
近日,甘肃酒泉市银星纸业有限责任公司的1.5万吨铜版纸生产线顺利建成,并正式投产.该项目是酒泉银星纸业公司与上海江南铜版纸厂、轻工业杭州机电研究设计院进行技术合作,投
加筋土挡土墙因其造价低,占地少,外形美观,而且施工简便,速度快,质量易于控制等特点,在支挡填土工程等方面得到广泛的应用.本文从加筋土挡土墙的基本工作原理、基本构造、设
该文从挂篮荷载计算、施工流程、支座及临时固结施工、挂篮安装及试验、合拢段施工、模板制作安装、钢筋安装、混凝土的浇筑及养生、测量监控等方面人手,介绍了S226海滨大桥
直燃型吸收式冷温水机组的比较 在许多国家中今天发生了电力供应能力与实际需要之间的不平衡,它可能引起(a)在峰值需求量的季节,多数在夏季白天用空调时引起电力供应不足,(b