【摘 要】
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保持150％的衬底温度不变，通过调节氧氩比（OFR=[O2]／[Ar]），利用直流反应磁控溅射技术在玻璃衬底上制备了一系列氧化银薄膜。利用X射线衍射谱、扫描电子显微镜和分光光度计重点研究了
【机 构】
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郑州大学物理工程学院郑州大学材料物理教育部重点实验室,河南工业大学艺术学院
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保持150％的衬底温度不变，通过调节氧氩比（OFR=[O2]／[Ar]），利用直流反应磁控溅射技术在玻璃衬底上制备了一系列氧化银薄膜。利用X射线衍射谱、扫描电子显微镜和分光光度计重点研究了薄膜的微结构对其反射率和透射率的影响。研究表明随着OFR的升高，氧化银薄膜呈现了从Ag＋Ag2O多晶结构到Ag2O多晶结构的演变。薄膜的表面相应地呈现了从疏松的多孔结构到类金字塔结构的演变。较高的Ag20含量和致密的表面形貌有利于薄膜可见和红外区的透光性，而较高的银含量和疏松的多孔结构则造成对光的强烈吸收，急剧地降低了薄
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