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介绍了SOI基片的制作,和在SOI上集成光电二极管和电路得到光电探测器的几种方法,以及目前在SOI上做出来的各种光电二极管的结构与特性.
单片集成于SOI上的光电探测器
【摘 要】
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介绍了SOI基片的制作,和在SOI上集成光电二极管和电路得到光电探测器的几种方法,以及目前在SOI上做出来的各种光电二极管的结构与特性.
【机 构】
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中国科学院上海技术物理研究所
【出 处】
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红外
【发表日期】
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2004年6期
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