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将膜系容差纳入评价函数,提出了多腔窄带滤光片鲁棒性设计的概念和方法.阐述了理论分析的依据,在修改的程序基础上得出一组优化设计的膜系.结果表明这种方法得到的膜系不一定是最优的理论解,但一定是最优的实际解.膜厚灵敏度因子计算结果表明,鲁棒性膜系较其他膜系的敏感度因子要低,从而验证鲁棒设计结果的正确性.