【摘 要】
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随着高密度组装技术的发展,互连导体线条越来越细,导体的层数也不断增多,以满足复杂的多芯片组装技术的需要。由此产生了两个问题: 1)为了保证细线良好的导电性,必须
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随着高密度组装技术的发展,互连导体线条越来越细,导体的层数也不断增多,以满足复杂的多芯片组装技术的需要。由此产生了两个问题: 1)为了保证细线良好的导电性,必须
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