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对于高速半导体激光器(LD),由于同轴封装工艺误差对高速LD组件耦合效率的影响,导致高速LD的指标下降。为了减少高速LD同轴封装工艺误差,详细分析高速LD同轴封装误差对高速LD组件耦合效率的影响,得出结论:高速LD组件中管帽倾斜、芯片横向偏移和芯片倾斜这三种情况产生的误差对高速LD组件耦合效率都有影响,其中管帽倾斜误差影响最大。