【摘 要】
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机械零件表面的微小变形对于其表面检测至关重要，干涉条纹在检测微小变形领域存在重要意义。为此研究基于激光数字全息技术的机械零件表面质量检测方法，提升检测能力。利用分光镜划分激光器发射的光束，形成参考光与物光；通过CCD接收两种光束，得到干涉条纹激光数字全息图；利用衍射球面波理论获取两种不同机械零件表面和CCD间距离的干涉条纹激光数字全息图的再现像；叠加干涉两幅再现像，得到干涉条纹，根据干涉条纹的变化
【基金项目】
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山西省高校科技创新项目（No.2020L0629）； 太原工业学院院士工作站（No.TYSYSGZZ201903）；
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机械零件表面的微小变形对于其表面检测至关重要，干涉条纹在检测微小变形领域存在重要意义。为此研究基于激光数字全息技术的机械零件表面质量检测方法，提升检测能力。利用分光镜划分激光器发射的光束，形成参考光与物光；通过CCD接收两种光束，得到干涉条纹激光数字全息图；利用衍射球面波理论获取两种不同机械零件表面和CCD间距离的干涉条纹激光数字全息图的再现像；叠加干涉两幅再现像，得到干涉条纹，根据干涉条纹的变化判断表面是否存在缺陷；通过构建物光场相位和机械零件表面缺陷形貌的关系模型，获取缺陷形貌，完成质量检测。实验证明：该方法可检测机械零件的干涉条纹图像，检测零件微小划痕宽度的准确率高于96%,且当微小划痕宽度较小时，该方法的检测准确率依旧较高，具备较高的检测能力。
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