【摘 要】
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合成了6种适用于248nm光致抗蚀剂的硫鎓盐产酸剂,其中吩噻体系的产酸剂为自行设计合成。利用IR、H NMR、UV等测试技术进行了结构表征和紫外吸收测定,各化合物的最大紫外吸
【基金项目】
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合成了6种适用于248nm光致抗蚀剂的硫鎓盐产酸剂,其中吩噻体系的产酸剂为自行设计合成。利用IR、H NMR、UV等测试技术进行了结构表征和紫外吸收测定,各化合物的最大紫外吸收在250～285nm之间,吸收域较宽,适用性较强。同时,利用酸敏染料罗丹明B遇酸异构变色的特点,使用紫外!可见分光光度计定量检测了6种产酸剂在乙腈溶剂中的产酸效率,其中硫杂蒽酮系列的产酸剂产酸性能最好。最后使用荧光追踪法研究了溶剂极性对产酸效率的影响,发现产酸剂的产酸性能同溶剂的选取密切相关,随着溶剂极性的减小,产酸效率随之降低。
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