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机械加工零件表面平面度误差估计是零件质量控制的重要内容。三坐标测量机（Coordinate measuring machine．CMM）广泛应用于零件表面平面度误差测量，但是由于测量成本的限制，CMM获取的测量样本数量有限。因此需要采用空间插值方法，获取更准确的平面度误差估计。通过建立空间统计学的变异函数模型描述零件表面测量数据之间的空间相关性，并推导空间泛克里金插值方法预测零件表面未测量点的坐标高度值，最终将实际测量点和插值预测点通过最小二乘法建立平面度误差预测估计模型。实例研究的结果表明，球状变异函数