【摘 要】
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本文分析了硅微机械加速度传感器横向灵敏度产生的原因，并介绍了降低它的方法。
This paper analyzes the reasons for the lateral sensitivity of silicon micro-mechanica
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本文分析了硅微机械加速度传感器横向灵敏度产生的原因，并介绍了降低它的方法。
This paper analyzes the reasons for the lateral sensitivity of silicon micro-mechanical accelerometer and introduces the method to reduce it.
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