Ⅲ—Ⅴ族化合物半导体的液相外延和化学汽相外延的比较

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比较了在高温下由化学汽相反应和液体溶液反应生长的Ⅲ—Ⅴ族化合物,从材料的观点上描述了光发射和微波振荡器件的要求。也讨论了满足这些器件要求的每种生长方法的性能。针对这一背景,提出了判断新的研究概念的准则,并对进一步的工作提出一些明确的方向。 Comparing the group III-V compounds grown by chemical vapor phase reaction and liquid solution reaction at high temperatures, the requirements for light emission and microwave oscillation devices are described from the material point of view. The performance of each growth method that meets these device requirements is also discussed. In response to this background, the guidelines for judging new research concepts are proposed and some clear directions for further work are proposed.
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