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介绍了SiGe材料的发展历史、特性、制备方法及其在半导体器件中的应用。
SiGe材料及其在半导体器件中的应用
【摘 要】
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介绍了SiGe材料的发展历史、特性、制备方法及其在半导体器件中的应用。
【机 构】
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大连理工大学物理系,北京工业大学电子系
【出 处】
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半导体技术
【发表日期】
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2001年8期
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