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期刊论文
SiGe材料及其在半导体器件中的应用
SiGe材料及其在半导体器件中的应用
来源 :半导体技术 | 被引量 : 0次 | 上传用户:ynhappyma
【摘 要】
:
介绍了SiGe材料的发展历史、特性、制备方法及其在半导体器件中的应用。
【作 者】
:
朱泳
刘艳红
魏希文
沈光地
陈建新
邹德恕
【机 构】
:
大连理工大学物理系,北京工业大学电子系
【出 处】
:
半导体技术
【发表日期】
:
2001年8期
【关键词】
:
锗化硅
半导体材料
半导体器件
SiGe material
HBT
Si_1-xGe_x.alloy
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介绍了SiGe材料的发展历史、特性、制备方法及其在半导体器件中的应用。
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