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采用聚酰胺酸成盐的方法合成了聚酰亚胺及聚酰亚胺／二氧化硅杂化薄膜，考察了三乙胺对聚酰亚胺薄膜耐水性的影响，重点研究了聚酰胺酸盐条件下，二氧化硅含量对聚酰亚胺／二氧化硅杂化薄膜的微观形态和力学性能、热稳定性的影响。结果表明：分别在无水和有水条件下，通过聚酰胺酸盐得到的聚酰亚胺薄膜均保持了良好的力学性能。采用上述条件下制备的杂化薄膜，在较高二氧化硅含量下得到的杂化薄膜具有良好的透明性，SEM结果显示其二氧化硅粒子尺寸均为纳米级。此外，这些杂化薄膜还具有良好的力学性能和热性能。