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采用热丝化学气相沉积(HFCVD)法制备了1.8μm,2.5μm和3.1μm三种晶粒尺寸的金刚石薄膜,并制作了共平面光电导探测器。采用光学显微镜和拉曼光谱仪研究了薄膜的结构和表面形貌。电流一电压(FV)特性测试结果表明,探测器性能与金刚石薄膜晶粒大小密切相关,随着晶粒尺寸的增加,光电流/暗电流之比以及净光电流均提高。