【摘 要】
:
使用x射线衍射 (XRD)、x射线光电子谱 (XPS)、高分辨透射电子显微镜 (HRTEM)和原子力显微镜 (AFM)多种观测手段分析了TiN薄膜和Ti1 -xSixNy 纳米复合薄膜的微观结构 .实验分
【机 构】
:
清华大学摩擦学国家重点实验室,清华大学摩擦学国家重点实验室,清华大学摩擦学国家重点实验室,清华大学摩擦学国家重点实验室 北京100084,北京100084,北京100084,北京100084
论文部分内容阅读
使用x射线衍射 (XRD)、x射线光电子谱 (XPS)、高分辨透射电子显微镜 (HRTEM)和原子力显微镜 (AFM)多种观测手段分析了TiN薄膜和Ti1 -xSixNy 纳米复合薄膜的微观结构 .实验分析证明Ti1 -xSixNy 薄膜是由直径为 3—5nm的纳米晶TiN和非晶Si3N4 相构成 ,并且Ti1 -xSixNy 薄膜的表面粗糙度小于相同条件下制备的TiN薄膜 ,在Ti1 -xSixNy 薄膜体系的自由能中引入界面能的概念 ,在此基础上分析了体系中TiN晶粒的取向问题 .
The microstructures of TiN films and Ti1-xSixNy nanocomposite films were analyzed by X-ray diffraction (XRD), X-ray photoelectron spectroscopy (XPS), high resolution transmission electron microscopy (HRTEM) and atomic force microscopy (AFM) It is proved that the Ti1-xSixNy thin films are composed of nanocrystalline TiN and amorphous Si3N4 with diameters of 3-5 nm, and the surface roughness of Ti1-xSixNy thin films is less than that of TiN thin films prepared under the same conditions. In the Ti1-xSixNy thin film system, The concept of interfacial energy can be introduced, and on this basis, the orientation of TiN grains in the system has been analyzed.
其他文献
合成了新颖的非线性光学材料,即4-苯乙炔-4'-[N,N-二乙基氨基偶氮苯.采用FT-IR、UV-vis、1H NMR、13C NMR和元素分析等方法对它的化学结构进行了详细的表征.使用8ns脉宽532nm
采用水热法合成了[H(4,4'-bpy)]2[K2Mo8O26],X-ray单晶结构解析表明:该化合物属三斜晶系,空间群:P-1,晶胞参数:a=0.78029(8)nm,b=0.98715(8)nm,c=1.32438(6)nm,α=99.383(3),
对B积分(自聚焦)的有效抑制和控制是高能激光系统发展过程中的一个焦点问题.传统的B积分控制技术(空间滤波器)在一定程度上提高了光束质量,但是随着激光功率的不断增大,空间
甲醛是合成酚醛树脂的主要原材料之一,在甲醛的各种组分中,甲醇含量对酚醛树脂的合成和性能影响较大.以两种典型的热固性酚醛树脂F-A和F-B为例,研究了不同甲醇含量对合成工艺
使用等温蒸发工艺开发了光子晶体的可控垂直沉积(CVD)技术,初步探索了光子晶体的结晶机制.使用可控垂直沉积技术将294 nm和345 nm的PMMA微球组生长成光子晶体.试样的扫描电镜
将用于催化不对称环丙烷化反应中的手性双(口恶)唑啉配体按相应羧酸母体骨架分为丙二酸类,酒石酸类,吡啶二羧酸类,联苯、联萘及双核二茂铁类,将聚合物支载的双(口恶)唑啉配体
基于光学扫描全息术原理和编码孔径层析成像技术,提出了一种三维物体层析成像技术--菲涅耳波带板扫描全息术.该技术通过将物体的光强分布函数与菲涅耳波带板的光强分布函数进
本文运用经济社会学界提出的"有限理性人"理论,从文化、风俗、政策等方面,分析了清代陕南流民在空问选择、垦殖活动以及环境变迁条件下,流民行为的基本取向.结果表明,人类空
对激光二极管端面抽运(Tm,Ho)∶YLF固体激光器的激光特性进行了研究.根据激光二极管抽运准三能级系统的特性,详尽地分析了能量在Tm3+离子和Ho3+离子之间的传递过程,给出了(Tm
从理论上分析了准三能级(Tm,Ho)∶YLF晶体的增益与温度关系,晶体温度的降低和长度的缩短有利于减小重吸收损耗对激光器运行性能的影响.在室温条件下,用2.7 W波长为792 nm激光