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针对批次过程数据具有高维、非线性及多模态等特性,提出一种自适应LPP-k NN的过程监视方法.利用局部保持映射算法（LPP）提取高维多模态批次数据的自适应变换矩阵构成新的建模数据.采用局部近邻标准化方法（LNS）进行标准化,并利用k NN算法构造统计监测指标.最后,通过在半导体工业实例中的应用验证了所提算法的有效性.