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以四异丙醇钛为原料，采用低压化学气相沉积法研究ＴｉＯ２薄膜的沉积条件。采用紫外光谱、Ｘ射线衍射、扫描电镜等测试手段对ＴｉＯ２膜的光学性质及结构形貌进行了表征。实验表明：ＴｉＯ２膜在可见光和近红外范围内的折光率为３．１５，比用常压法制备的ＴｉＯ２膜的折光率高出３６．５％。因而，低压化学气相沉积法是制备高折射率的ＴｉＯ２膜更有效的一种方法。