【摘 要】
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本文采用X射线衍射方法测定了在(001)取向的InP衬底上,用LPE法生长的InGaAsP外延层晶格完整性和应变状态,给出了InGaAsP/InP异质结X射线回摆曲线测量方法和测量结果,提出了用
【机 构】
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本文采用X射线衍射方法测定了在(001)取向的InP衬底上,用LPE法生长的InGaAsP外延层晶格完整性和应变状态,给出了InGaAsP/InP异质结X射线回摆曲线测量方法和测量结果,提出了用普通X射线衍射仪测量外延层晶格失配在实验方法上的改进,从而提供了在没有双晶衍射仪情况下,测量外延层晶格失配的可行途径。
In this paper, X-ray diffraction method was used to determine the lattice integrity and strain state of InGaAsP epitaxial layer grown on (001) InP substrate by LPE method. The X-ray gyroscopic curve of InGaAsP / InP heterojunction was measured Method and measurement results, the improvement of the experimental method for measuring the lattice mismatch of the epitaxial layer by the ordinary X-ray diffractometer is proposed, which provides a feasible way to measure the lattice mismatch of the epitaxial layer without the double crystal diffractometer.
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