【摘 要】
：
研究了Au-In-Au低温金属键合技术,并把它应用到长波长垂直腔面发射激光器（VCSEL）器件结构的制作中.利用该技术不仅有利于提升器件的热学性能,而且有利于提高VCSEL结构中分布Bra
【机 构】
：
中国科学院上海微系统与信息技术研究所信息功能材料国家重点实验室,中国科学院研究生院
论文部分内容阅读
研究了Au-In-Au低温金属键合技术,并把它应用到长波长垂直腔面发射激光器（VCSEL）器件结构的制作中.利用该技术不仅有利于提升器件的热学性能,而且有利于提高VCSEL结构中分布Bragg反射腔镜（DBR）的反射率.实验结果表明,InP基外延半腔VCSEL结构成功地在200℃低温下金属键合到Si衬底上,键合强度高,键合质量达到了VCSEL器件工艺制作要求.对键合样品光学特性的分析表明,低温金属键合过程不影响量子阱有源区及DBR的光学性质,这对VCSEL器件结构的制作是有利的.这种低温金属键合技术,有望
其他文献
<正>2015年1月1日,当新年的钟声敲响后不久,德国著名社会学家、"风险社会"理论的提出者和倡导者乌尔里希·贝克(Ulrich Beck),因心脏病突发,还没来得及提出应对"风险社会"的
移动龙门吊在工作时主要受到向下的集中载荷,因此对其结构优化及校核非常重要。为了比较优化前后相同尺寸而形状不同的的移动龙门吊架受力及变形情况,采用UG软件对移动龙门吊
本文分析了基于可变电感的静止型无功补偿器的几种典型的控制方法，列举了几种可行的控制方案。物理仿真实验结果表明，电压稳定效果显著。
本文以我国高科技上市公司为样本,对其营运资金管理与企业业绩之间关系的进行了研究,研究结果表明强有力的营运资金管理和企业业绩之间成倒U形关系,支持了良好的营运资金管理
无论家居风格潮流如何变迁,总会有人钟情于古典元素。新古典主义装饰风格,更像是一种多元化的思考方式,兼容华贵典雅与时尚现代,将怀古的浪漫情怀与现代人对生活的需求相结合
针对中国农网的实际情况,分析了农村电网改造的特点,对农村电网改造内容(包括供电范围、变压器容量配置、电网布局、电压等级组合等)进行了讨论。最后,就农网改造过程中经常
生鲜农产品在运输途中保鲜不得当,会加快产品损耗和变质,导致消费者难以购买到优质的生鲜农产品。在没有相对合适的激励下,物流服务商没有足够的动力提高保鲜努力水平。生鲜
本文主要介绍电力线载波技术目前在国内外的发展和应用以及载波技术的新方向。
本文就杜仲叶和皮总成分、药用成分（绿原酸、桃叶珊瑚甙和松脂醇二葡萄糖甙）及营养成分（维生素、氨基酸、微量元素）的含量进行了比较分析。分析结果认为，杜仲叶含量丰富，除维生素含
我国社会主义市场经济不断得到发展,市场营销随着市场竞争的不断加剧也越来越复杂化。高校的市场营销教学在传统的教学模式下逐渐滞后于社会的发展,市场营销教学面临着诸多的