【摘 要】
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通过分析超精密机床伺服控制系统的特性 ,得出系统中传动部件的间隙非线性环节是影响系统性能的主要原因。为补偿间隙的影响 ,本文提出了在不改变原有的控制器基础上 ,通过引
【机 构】
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通过分析超精密机床伺服控制系统的特性 ,得出系统中传动部件的间隙非线性环节是影响系统性能的主要原因。为补偿间隙的影响 ,本文提出了在不改变原有的控制器基础上 ,通过引入速度反馈而减小间隙极限环的方法。将该方法应用于实际系统中 ,得到了闭环定位时系统的最大稳态输出误差不超过± 4 0nm的控制精度
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