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日本村田制作所株式会社在全球率先开发出了表面封装型的MEMS（微机电系统）角加速度传感器。该产品融合了加速度传感器和角速度传感器设计技术，以及MEMS工艺，尺寸小于LeadType角加速度传感器。
表面封装型MEMS角加速度传感器开发成功
【摘 要】
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日本村田制作所株式会社在全球率先开发出了表面封装型的MEMS（微机电系统）角加速度传感器。该产品融合了加速度传感器和角速度传感器设计技术，以及MEMS工艺，尺寸小于LeadType角加
【出 处】
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军民两用技术与产品
【发表日期】
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2015年11期
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