论文部分内容阅读
在掺氟的SnO2（FTO）导电玻璃衬底上采用射频磁控溅射的方法室温沉积纯Ti薄膜，以NH4F/甘油为电解液，经电化学阳极氧化得到结构有序、微米级的TiO2纳米管阵N／FTO复合结构，并通过场发射扫描电子显微镜（FESEM）、X射线衍射（XRD）以及光电化学的方法对纳米管阵列进行了表征．研究表明，在氩气气压为0．5Pa，功率为150W，时间为0．5h条件下在导电玻璃上室温沉积获得钛膜的结构为晶带T型组织，表面均匀性好且致密度较高；在电压为30V下，随着阳极氧化时间从1h延长至3h，纳米管的管径从50nm增加