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半导体硅材料的新课题—键合SOI膜
【出 处】
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电子材料快报
【发表日期】
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1996年7期
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为掌握直齿、斜齿、台阶齿三种结构在不同转速、旋转半径、齿数、篦齿高度、齿顶间隙、齿间距参数下的流动变化情况,本文对三类篦齿模型开展数值计算。在仅调整一项影响因素