【摘 要】
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本文报导了用质子注入GaAs形成高阻隔离层的实验研究及其在微波半导体器件方面的应用.并对其隔离机理和隔离层的热稳定性问题作了讨论,指出质子注入GaAs制作隔离层是一项可靠
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本文报导了用质子注入GaAs形成高阻隔离层的实验研究及其在微波半导体器件方面的应用.并对其隔离机理和隔离层的热稳定性问题作了讨论,指出质子注入GaAs制作隔离层是一项可靠的技术.
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