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期刊论文
掺杂量对ZnO:Al膜电学性能的影响
掺杂量对ZnO:Al膜电学性能的影响
来源 :苏州大学学报(自然科学) | 被引量 : 0次 | 上传用户:quixotic
【摘 要】
:
使用电子束蒸发法沉积了铝掺杂的氧化锌透明导电膜。通过霍尔系数测量及XRD、SEM测试分析,确定了掺铝量对膜的电学性能的影响。
【作 者】
:
葛水兵
王华
【机 构】
:
苏州大学薄膜材料实验室
【出 处】
:
苏州大学学报(自然科学)
【发表日期】
:
1999年1期
【关键词】
:
氧化锌
铝
薄膜
导电膜
电学性能
掺杂量
electron-beamevaporation
Al-doped Zinc oxide films
dopan
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使用电子束蒸发法沉积了铝掺杂的氧化锌透明导电膜。通过霍尔系数测量及XRD、SEM测试分析,确定了掺铝量对膜的电学性能的影响。
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