【摘 要】
:
使用多弧离子镀在铜基镀Cr的衬底上制备TiN薄膜,借助表面分析技术研究了不同温度下离子镀TiN与Cr/Cu接触的界面与表面性质.通过SEM、TEM观测表面形貌,微结构随温度变化;用AES
【机 构】
:
厦门大学分析测试中心,厦门大学物理学系,厦门大学物理学系
论文部分内容阅读
使用多弧离子镀在铜基镀Cr的衬底上制备TiN薄膜,借助表面分析技术研究了不同温度下离子镀TiN与Cr/Cu接触的界面与表面性质.通过SEM、TEM观测表面形貌,微结构随温度变化;用AES和XPS测量接触界面成分随温度的变化.结果表明,在90 ℃下,表面TiN薄膜欠均匀,界面较清晰可辨;随着温度的升高,表面微结晶性能有所改善,在170 ℃时可见局部球聚隆起,出现粗细不同的类枝状结晶结构,此时TiN与Cr/Cu界面层增厚,形成较为稳定的Ti-Cr金属间化合物.TiN薄膜在金属衬底上的生长行为与衬底表面的原子结
其他文献
现代汽轮机数字电液控制系统(DEH系统)由于采用计算机控制技术为核心的分散控制系统结构,提高了控制精度,并且能够方便地实现各种复杂的控制算法。随着技术进步和电网的不断发
批评与自我批评的作风是中国共产党在为人民服务的实践中形成的,是中国共产党独特的政治优势。在中国社会转型的大背景下,习近平赋予了其新的涵义。党的十八大以来,习近平总书记
吕坤经济思想论略王兴亚,马怀云吕坤(1536—1618年)字顺叔、叔简,号新吾、心吾,晚号抱独居士、河南宁陵县人。万历二年(1574年)进士,历官山西襄垣、大同知县,吏部主事、郎中,山东济南道参政,山西按察
本文建立了快速筛查豆芽中常见添加物甲硝唑、多菌灵、赤霉素、6-苄基腺嘌呤和2,4-二氯苯氧乙酸的液相色谱定量方法。回收率为79%~96.6%,定量限在20~200μg/kg。对市场随机抽查
【正】 针对我区前段财政收入上不去、"两税"任务短收多、收支平衡难度大,对实现省政府提出的保"两税"增长、保工资发放、保收支平衡的目标底子不清、信心不足、犹豫不定的情
建立高效液相色谱-串联质谱法(high performance liquid chromatography-tandem mass spectrometry,HPLC-MS/MS)同时测定豆芽中4种药物残留的方法。豆芽经酸化乙腈匀浆提取,无
血管损伤和修复的失衡可导致脑血管疾病的发生和发展,如脑供血动脉狭窄、颅内动脉瘤等。从基因层面直至蛋白层面的表达,均参与该病理生理过程。在这种多层面分子调控中,蛋白
民族学是记录和解释文化多样性的学科,主张对文化多样性的保护,首先应该是对各民族传统文化的保护。民族传统文化的保护要在学术界、政府、社会的共同参与下进行,采取整体性
译者注:自9·11事件后,国际反恐形势异常严峻,恐怖活动有向海上转移的迹象,尤其在东南亚海域,海盗活动非常猖獗,给船舶安全和船员的生命财产带来严重威胁.鉴于以上情况,
目的分析北京市某三甲医院收治青光眼患者住院费用变化情况及影响因素。方法根据ICD-10编码检索2003年至2005年,2013年至2015年以青光眼为治疗目的住院的患者病案首页数据,共