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期刊论文
光湿敏元件及特性
光湿敏元件及特性
来源 :应用光学 | 被引量 : 18次 | 上传用户:lisanshuxuejj
【摘 要】
:
介绍硅衬底的半导体陶瓷材料钛酸镧锶 (Sr1-x Lax Ti O3 )光湿敏元件的工作原理及结构 ,MIS结构元件的光湿敏特性参数和曲线。利用光湿敏元件研制成光湿敏传感器和测量仪 ,智能光湿敏测量仪具有软件湿度补偿、智能判断声光报警等特性。
【作 者】
:
郭志友
黄钊洪
李观启
黄美浅
【机 构】
:
华南师范大学,华南理工大学
【出 处】
:
应用光学
【发表日期】
:
2002年04期
【关键词】
:
光湿敏元件
钛酸镧锶
MIS结构
相对湿度
工作原理
光湿敏传感器
strontium lanthanium titanate
MIS structure
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介绍硅衬底的半导体陶瓷材料钛酸镧锶 (Sr1-x Lax Ti O3 )光湿敏元件的工作原理及结构 ,MIS结构元件的光湿敏特性参数和曲线。利用光湿敏元件研制成光湿敏传感器和测量仪 ,智能光湿敏测量仪具有软件湿度补偿、智能判断声光报警等特性。
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