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2009年韩国的Semicon展,SUSS MicroTec推出了第二代ACS300.这个模式化的系统可用于直径达300mm晶片的涂胶、烘烤和显影.
SUSS MicoTec推出300mm涂胶/显影机,进一步用于三维集成
【摘 要】
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2009年韩国的Semicon展,SUSS MicroTec推出了第二代ACS300.这个模式化的系统可用于直径达300mm晶片的涂胶、烘烤和显影.
【出 处】
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电子工业专用设备
【发表日期】
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2009年2期
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